Nach einigen weniger erfolgreichen Versuchen mit Swaps, Specs und Visible Dust (wobei dieser für Staub noch am besten war, aber nicht half gegen Schmierölrückstände) habe ich letztens meine M9 zum Spezialisten gegeben, den ich nur wärmstens empfehlen kann:
http://www.chipclean.nl
Der Service kostet je nach Sensorgrösse zwischen 40 und 55 Euro und macht den Sensor wie neu. Als Beweis erhält man jeweils ein Vorher- und Nachher-Bild auf seine Speicherkarte.
Ich bin übrigens weder verwandt noch an der Firma beteiligt.
Gruss